Park Systems推出高真空SSRM AFM系统

原子力显微镜（AFM）系统制造商园系统公司水原，韩国已经推出NX-HIVAC，这是声称自己是唯一的高真空AFM系统，以满足半导体制造故障分析当前和未来的需求在市场上。

该NX-HIVAC适合在更高度复杂的故障分析工具现在需要高度掺杂半导体加工有意故障分析解决方案，学术界和工业客户。

对NX-HIVAC的高真空扫描扩展电阻显微镜（SSRM）使下一代设备的二维（2D）载体的分析和测量的高真空条件下的高分辨率SSRM图像，以减少取样尖端损伤和提高产量。该NX-HIVAC是非常敏感和响应电流信号，产生精确的测量和可重复性，说，该公司。

“半导体器件的不断缩小纳米级的几何形状需要复杂的故障分析工具，”总裁李Keibock说。 “我们以客户为中心的工程和产品开发团队专注于为制造环境，最终促进纳米生产的进步故障分析解决方案，”他补充道。该NX-HIVAC设计协同“的重大半导体IC生产商”。

与用于多个样品加载（最多5）的能力而设计，公园NX-HIVAC还可以测量掺杂物浓度（7十年）的宽动态范围。其他功能包括即使在绝缘体 - 金属，其中电导发生巨大的改变的范围内的快速信号响应。在NX-HIVAC的显著优势在于高真空测量SSRM远显示更高的灵敏度，比环境条件下的分辨率，称该公司。这是由于在环境或干燥的氮气条件下比在真空中高四倍的针尖和样品之间所施加的力。所需的低力降低薄膜的目标样本的应变，从而更高的空间分辨率，从而延长烙铁头寿命和提高生产率，称该公司。

完整NX-HIVAC系统包括公园的独特设计的功能，如闭环XY扫描仪精确放大在成像，低信噪比（0.30A，即使当真空泵是），增加的尖寿命和可靠性保证可重复性。特殊功能，如自动抽水和通风，电动激光校准和高分辨率轴光学软件控制提高易用性的操作，增加了该公司。