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CyberOptics推出实时监控相对湿度(RH)解决方案

关键词:CyberOptics 实时监控相对湿度(RH)解决方案

时间:2016-03-30 13:18:52      来源:中电网

CyberOptics公司一家全球领先的开发商和高精度的3D传感技术解决方案供应商,将展示和展览在第23次研讨会光罩和NGL面膜技术在横滨,日本,2016年4月6日至八日。

日本横滨 - (BUSINESS WIRE) - Cyber​​Optics®公司(NASDAQ:CYBE),一家全球领先的开发商和高精度的3D传感技术解决方案供应商,将展示和展览在第23次研讨会光罩和NGL面膜技术在横滨,日本,2016年4月6日至八日。

海报展示周二,4月7日,17:10-19:00将有先生Yukinobu林,现场应用工程师Cyber​​Optics的,在讨论“监测湿度浸泡扫描器光罩环境,以降低标线片雾状效果最佳实践。”

“关键是要有效地监控RH浸入式扫描仪,产生不良影响可以从阴霾导致时不采取适当的措施来测量和控制它,”林山说。

Cyber​​Optics的ReticleSense®自动的多传感器(AMSR)所用的标线片环境的所有位置测量湿度和检测,其中H 2 O暴露于标线片的任何地方。监测湿度是在降低光罩的雾度是至关重要的。霾是引起掩模残余物中,193nm的光和H 2 O的组合光罩产生不利影响。除了相对湿度测量时,AMSR也可用于振动和流平 - 用于增加产量和降低了停机时间的重要因素。

关于和的WaferSense线ReticleSense
该的WaferSense测量产品,包括自动调平系统(ALS),自动定寸系统(AGS),自动振动系统(AVS),自动教学系统(ATS)和尘埃粒子传感器(APS)是200毫米现已推出, 300毫米450mm晶圆尺寸。此外,无论是APS和ALS是了150毫米尺寸可供选择。该ReticleSense尘埃粒子传感器(APSR)中,ReticleSense自动调平系统(ALSR)和新ReticleSense尘埃粒子传感器石英(APSRQ)的分划板形的外形可供选择。有关Cyber​​Optics的解决方案的整个产品线的更多信息,请访问该公司的网站www.cyberoptics.com。

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