4200－SCS参数分析仪datasheet

4200-SCS 半导体特性分析系统

介绍

4200-SCS半导体特性分析系统是用于器件、材料和半导体工艺参数分析的完整解决方案。这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量灵敏度和精度，同时继承了嵌入式Windows操作系统合及时利交互式测试环境，为半导体科研及产业用户进行半导体器件特性分析提供了直观而高级的功能。它是一套功能强大的单机解决方案。4200-SCS半导体特性分析系统采用了模块化、可配置、可升级的架构。这使得它能够准确满足当前的测量需求，也可以模块扩展以满足后续的需求。

它可以支持多达9个精密直流源-测量单元能够提供和测量0.1fA到1A的电流或者1μV-210V的电压；
利用4210-CVU（C-V）模块可以方便的在1KHz-10MHz测试频率下进行交流阻抗测试。可以测量的电容范围从aF级到μF级；

利用可选的4225-PMU超快I-V模块可以进行脉冲和舜态测量。

吉时利交互式测试环境（KITE）提供了一套完整的图形用户界面，无需编程即可支持几乎所有类型的特性分析测试。它提供了多达456种标准的特性分析测试库，包括MOSFET，BJT晶体管、二极管、电阻器、电容器、太阳能电池、碳纳米管和NVM存储器，例如Flash、PRAM，PCRAM等。

详见：4200-SCS参数分析仪datasheet.pdf