Silicon Designs新款工业级MEMS加速度计具有低噪声和长期稳定性

据麦姆斯咨询报道，近日，Silicon Designs推出三款工业级单轴MEMS电容式加速度计芯片：1521型、1522型、1531型。

1521型MEMS加速度计提供从±2g到±400g的八个标准量程范围，具有±4V差分输出，并提供20引脚LCC封装或J形引脚类封装的两种选择，这两种封装均具有氮气阻尼、气密密封且符合RoHS标准。

“1521型MEMS加速度计的显着特点是将MEMS电容传感元件与放大器和内部温度传感器集成在一起。”Silicon Designs表示，“该型号产品专为需要低噪声和长期稳定性的零到中频测试和仪器应用而设计。”

1521型MEMS加速度计响应覆盖0（dc）至2000Hz，2g满量程部件的典型噪声为7μg/√Hz。Silicon Designs表示，这款MEMS加速度计可以承受5000g的冲击且无信号衰减。

1521型MEMS加速度计工作电压通常为5V（5mA），工作温度范围为-55℃至+125℃。

1522型MEMS加速度计也有从±2g到±400g的八个量程范围，但仅提供20引脚LCC封装。Silicon Designs表示：“它的显着特点是其在-55℃至+125℃范围内的低噪声、卓越的偏置和比例因子性能。”

每颗1522型MEMS加速度计产品都在气候室中单独测试、编程、校准和验证。

1531型与1521型类似，但在更高的温度下工作：-55℃至+175℃，提供从±5g到±400g的七个量程范围，采用20引脚J形引脚类封装。每颗产品也经过气候室测试。

Silicon Designs位于美国华盛顿西雅图附近，在通过ISO9001:2015认证的工厂中生产其上述三款工业级单轴MEMS加速度计。