重新定义国产高精度SMU，概伦电子发布全自研FS810

概伦电子 (股票代码: 688206.SH) 近日正式推出具有自主知识产权的高精度源测量单元 (SMU) FS810。作为实现半导体器件电特性表征的基础模组之一，SMU为台式源表、半导体参数分析仪、WAT/WLR等各类测试提供了核心的测试单元，具有广泛的应用场景和市场潜力。



概伦电子全自研FS810高精度SMU具备200V/1A的最大测试量程，在1个PLC时间内电流测试精度可达30fA，最高电流测试精度可达15fA，在单一模块内可同时满足宽量程和高精度的测试需求。FS810的精度、速度等性能指标在晶圆级的实测应用已达到且部分超过当前工业界的主流应用水平，满足各类先进工艺节点的器件研发和量产测试要求，具备国际市场竞争力。

杨廉峰博士 概伦电子董事、总裁：“在广阔市场需求和技术演进的推动下，概伦电子持续扩大研发投入，不断突破技术壁垒，围绕工艺与设计协同优化（DTCO）进行技术和产品的战略布局，此次在半导体测试的基础模块SMU的重大突破正是我们一以贯之的成果，有望成为概伦电子又一项具备国际市场竞争力的关键核心技术。概伦电子始终致力于以业界领先的EDA核心技术为基础，结合在半导体电特性测试领域的解决方案和广泛应用经验，提供专业高效、应用驱动的EDA流程，进一步加强和巩固市场竞争力。”

高精度SMU广泛应用于半导体、电子、通信、自动化等众多产业领域的各类电特性数据测试设备中，结合已被行业广泛应用的低频噪声测试、快速短脉冲测试、低漏电矩阵开关等关键技术，概伦电子可以为行业提供业界领先的半导体电特性测试解决方案和独有的数据驱动的EDA流程，全面覆盖半导体器件的基本电特性、低频噪声、可靠性、工艺扰动等，为DFY（Design for Yield）、DFM（Design for Manufacturing）、DFR（Design for Reliability）、DFN（Design for Noise）等DTCO的重要EDA流程提供高效、精准的数据支撑。

未来，概伦电子将与行业合作伙伴一起持续探索技术创新，共同构建从基础测试模块到整机测试系统，以及软硬件相结合的完整测试仪器生态环境，推动半导体行业应用的立体化发展。基于FS810的核心模组，概伦电子和行业合作伙伴的相关测试产品将于2024年下半年陆续推向市场。