“新型GF100系列质量流量控制器(MFC)旨在精确测量、监控和控制半导体设备及太阳能电池生产工艺中的超纯度工艺气体化学反应。
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Celerity, Inc. 日前宣布，该公司推出新型GF100系列质量流量控制器(MFC)，该产品旨在精确测量、监控和控制半导体设备及太阳能电池生产工艺中的超纯度工艺气体化学反应。该新型Celerity GF100系列质量流量控制器是一个可高度配置的平台，具有Celerity第二代专有的压力瞬变不敏感型流量技术，可以改善工艺控制、降低拥有成本，并消除存货管理的复杂性。
该新型Celerity GF100系列质量流量控制器产品系列具有诸多重要优势，包括高精确度、可重复的气体测量、先进的数字架构进行的控制、为实现最大工艺灵活性和最优化对气体和流量范围进行原位电子再配置、压力瞬变不敏感型流量技术设计(显著减少了高纯度气体输送系统的成本和体积)、以及便于自己进行简单、有效的维护工作的嵌入式智能诊断、维修端口和软件。
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